גלאי ייעודי לגזים בתעשיית המוליכים למחצה.
גלאי ייעודי לגזים בתעשיית המוליכים למחצה, כגון NF3, SF6, C5F8, C4F6.
משאבת דיגום ומגעים פנימיים.
התקני תוכנה (פלאגים) לדיאגנוסטיקה מתקדמת.
אגירת נתונים ויציאות תקשו.
